1、招标条件
项目概况:拟采购真空磁控溅射镀膜设备，能够实现8英寸基底的薄膜沉积，能制备厚度差异在±5%（8英寸）的硫系化合物、氧化物，Au，Ag，Ti，SiO2等材料的薄膜沉积。配备至少1个直流和1个射频电源，可以实现2个靶位的共溅射沉积。具有氩等离子体轰击，实现轻微刻蚀。
实验室科研加工半导体材料应用，主要用于硫系化合物，氧化铟锡，Au，Ag，Ti，SiO2等材料在基片上的薄膜沉积。
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:3109-244Z20243011
招标项目名称:真空磁控溅射镀膜设备采购项目
项目实施地点:上海市
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 真空磁控溅射镀膜设备 | 1 | 溅射腔室、搬运室、气路系统、真空系统、控制等单元，系统可由设备前侧的操作触摸屏通过PLC进行控制。 | 预算金额：300人民币 万元 最高限价：294人民币 万元 合同履行期限：2024年10月31日之前完成交付 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1、投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织；
2、投标人应为投标产品的制造商或其合法代理商，代理商投标应提供投标产品的制造商针对本项目的正式授权；
3、投标人须在投标截止期之前在商务部认可的机电产品招标投标电子交易平台（以下简称机电产品交易平台，网址为：http://www.chinabidding.com）上完成有效注册；
4、本项目不允许联合体投标；
5、本项目不接受分包或转包。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2024-07-09
招标文件领购结束时间:2024-07-16
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：复旦大学采购与招标管理系统（网址为：https://cz.fudan.edu.cn）
招标文件售价:免费
其他说明:有兴趣的潜在投标人应于2024年7月9日起至2024年7月16日16时止（北京时间），通过复旦大学采购与招标管理系统（以下简称电子采购平台，网址为：https://cz.fudan.edu.cn）在线获取招标文件，逾期不再办理。潜在投标人可进入电子采购平台后在“正在进行的项目”版块中查看项目进入在线获取招标文件流程并下载电子招标文件，电子招标文件售价零元。未按规定合法获取招标文件的潜在投标人将不得参加投标。招标文件获取阶段无资格审核流程，若电子采购平台显示有的也将直接通过。获取招标文件需上传的资料（加盖公章后的扫描件）：
1） 投标人为法人的，提供法定代表人授权书（其他组织需提供投资人/负责人授权书）；
2）投标人应授权一名联系人处理投标截止时间之前的联系工作，并对应上传供应商联系人授权（格式自拟）。
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2024-07-30 09:30
投标文件送达地点:复旦大学采购与招标管理系统（网址为：https://cz.fudan.edu.cn）
开标地点:复旦大学采购与招标管理系统（网址为：https://cz.fudan.edu.cn）
6、联系方式
招标人:复旦大学
地址:上海邯郸路220号
联系人:李老师
联系方式:021-65641292
招标代理机构:上海政采项目管理有限公司
地址:上海静安区天目中路380号11楼
联系人:戴小军、付荣
联系方式:021-62091273*8009
7、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):