1、招标条件
项目概况:设备名称：离子束刻蚀机
设备数量：1台
设备用途：主要用于8英寸MEMS工艺中的金属膜层（Au、Ti）的刻蚀加工。
资金到位或资金来源落实情况:资金已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0709-244035614023
招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之离子束刻蚀机
项目实施地点:安徽省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 离子束刻蚀机 | 1套 | *刻蚀工艺腔 要求腔室内部安装有易拆卸替换的专用内衬板、栅网、观察窗、石英放电腔等，可实现设备真空腔室的快速清理和维护，要求设备配备两套内衬板，两套栅网，两套石英放电腔、两套观察窗、两套中和器，一套在用，一套备用；工艺腔室为模块化平台构造，包含气体气路、腔室本体、ESC下电极、电源分配模块接口、传送腔体接口等；对于刻蚀窗口暴露面积超过10%的晶圆，具备终点检测抓取能力。 对于厚度300μm～1100μm的8英寸晶圆片，金（Au）薄膜刻蚀应满足以下指标： *（1）金（Au）刻蚀速率≥800？/min； |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:（1）投标人是响应招标、已在招标人或招标机构处领购招标文件并参加投标竞争的法人或其他组织。任何未在招标人或招标机构处领购招标文件的法人或其他组织均不得参加投标。
（2）凡是来自中华人民共和国或是与中华人民共和国有正常贸易往来的或地区的法人或其他组织均可投标。
（3）与招标人存在利害关系可能影响招标公正性的法人或其他组织不得参加投标。
（4）接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加受托项目的投标，也不得为该项目的投标人编制投标文件或者提供咨询。
（5）单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得参加同一招标项目包投标。
（6）只有在法律上和财务上独立、合法运作并独立于招标人和招标机构的供货人才能参加投标。
（7）投标人须提供开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明原件或复印件。
（8）境内投标人还应具备良好商业信誉和财务状况，并能够提供营业执照、依法缴纳税收和社会保障资金证明等材料，不得存在下列情形之一：
①失信被执行人；
②被责令停业或进入破产程序的；
③财产被接管、冻结且影响项目履约的；
④近三年内有被相关行政监督部门判定并发布骗取中标的或取消投标资格的；
⑤需提供近三年内经营活动中无重大违法记录的书面声明，并未被“企业信用信息公示系统”网站“列为严重违法失信名单”。
（9）境内投标人须提供经会计师事务所审计的2022年度财务审计报告复印件（财务审计报告应当体现投标人（被审计单位）名称、会计师事务所（审计单位）名称、符合招标文件要求的审计年度并提供经审计的财务报表）；境外投标人须提供符合招标文件要求的财务报表。
（10）本项目接受代理商投标。如果投标人所投的货物不是投标人自己制造的，投标人须提供制造商同意其在本次投标中提供该货物的正式授权书（不含转授权）。同一品牌的制造商只能委托一家代理商参与本项目投标。同一品牌的制造商和代理商不能同时参加本项目的投标。
（11）投标人可以是设备制造厂家或设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书；并且具有设备技术支持和服务能力。
（12）投标人可以是设备制造厂家或设备再制造厂商，也可以是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书；并且具有设备技术支持和服务能力。要求2020年至今同类型设备出货量与验收数量大于10台，国产设备与再制造厂商提供合同和验收材料，进口全新设备出具盖章的业绩说明材料。
（13）试样要求：招标人有权利依次对满足标书要求的设备进行样品试制，试制样品须满足本标书第三条（主要技术指标）中样品试制要求。招标方提供样片给投标方，投标方使用参与投标的同型号设备，测试过程由招标方进行现场监督，招标方按照试制样品验收指标要求进行工艺测试，测试完成后提交招标方检测评估，检测评估合格，投标方才具备投标资格。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2024-04-30
招标文件领购结束时间:2024-05-10
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：https://bid.cnic.com.cn
招标文件售价:￥1500/$210
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2024-05-28 09:30
投标文件送达地点:北京市西城区北三环中路25号英斯泰克大厦5层会议室
开标地点:北京市西城区北三环中路25号英斯泰克大厦5层会议室
6、投标人在投标前应在必联网（https://www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台（https://www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。
7、联系方式
招标人:安徽华鑫微纳集成电路有限公司
地址:安徽省蚌埠市东海大道888号
联系人:陈老师
联系方式:13906020315
招标代理机构:仪器进出口集团有限公司
地址:北京市丰台区西营街1号院1区1号楼15层、16层、17层
联系人:陶宇
联系方式:010-60961220/60961520
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):