1、招标条件
项目概况:设备名称：多靶溅射机
设备数量：1台
设备用途：
该设备主要用于硅平面、介质层及金属层表面Ti、Au、Pt、Cr等粘附层、阻挡层、与种子层的磁控溅射工艺，以及需要采用shadow mask溅射工艺来制备PAD、镜面等。
资金到位或资金来源落实情况:资金已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0709-244035614025
招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之多靶溅射机
项目实施地点:安徽省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 多靶溅射机 | 1套 | 机台规格为全新机台，适用晶圆尺寸：8英寸，notch，基片托盘：≥10个，预真空室可装载至少10个基片托盘，每个基片托盘可装载1片基片； 设备配置：磁控阴极≥4个，阴极靶材尺寸≥6英寸；具有Loadlock（装载模块）；传输模块装有机械手，可实现晶圆在Loadlock（装载模块）和工艺模块之间的传输；具备反溅清洗功能及加热除气功能； 高真空腔室：配置腔室防污罩（Processkits）4套以上，以及配备观察窗； |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:（1）投标人是响应招标、已在招标人或招标机构处领购招标文件并参加投标竞争的法人或其他组织。任何未在招标人或招标机构处领购招标文件的法人或其他组织均不得参加投标。
（2）凡是来自中华人民共和国或是与中华人民共和国有正常贸易往来的或地区的法人或其他组织均可投标。
（3）与招标人存在利害关系可能影响招标公正性的法人或其他组织不得参加投标。
（4）接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加受托项目的投标，也不得为该项目的投标人编制投标文件或者提供咨询。
（5）单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得参加同一招标项目包投标。
（6）只有在法律上和财务上独立、合法运作并独立于招标人和招标机构的供货人才能参加投标。
（7）投标人须提供开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明原件或复印件。
（8）境内投标人还应具备良好商业信誉和财务状况，并能够提供营业执照、依法缴纳税收和社会保障资金证明等材料，不得存在下列情形之一：
①失信被执行人；
②被责令停业或进入破产程序的；
③财产被接管、冻结且影响项目履约的；
④近三年内有被相关行政监督部门判定并发布骗取中标的或取消投标资格的；
⑤需提供近三年内经营活动中无重大违法记录的书面声明，并未被“企业信用信息公示系统”网站“列为严重违法失信名单”。
（9）境内投标人须提供经会计师事务所审计的2022年度财务审计报告复印件（财务审计报告应当体现投标人（被审计单位）名称、会计师事务所（审计单位）名称、符合招标文件要求的审计年度并提供经审计的财务报表）；境外投标人须提供符合招标文件要求的财务报表。
（10）本项目接受代理商投标。如果投标人所投的货物不是投标人自己制造的，投标人须提供制造商同意其在本次投标中提供该货物的正式授权书（不含转授权）。同一品牌的制造商只能委托一家代理商参与本项目投标。同一品牌的制造商和代理商不能同时参加本项目的投标。
（11）投标人可以是设备制造厂家或设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书；并且具有设备技术支持和服务能力。
（12）投标人可以是设备制造厂家或设备再制造厂商，也可以是设备授权代理商，代理商需有设备原厂家的有效授权书；并且具有设备技术支持和服务能力。要求2020年至今同类型设备出货量与验收数量大于【5】台，国产设备与再制造厂商提供合同和验收材料，进口全新设备出具盖章的业绩说明材料。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2024-04-30
招标文件领购结束时间:2024-05-10
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：https://bid.cnic.com.cn
招标文件售价:￥1500/$210
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2024-05-28 09:30
投标文件送达地点:北京市西城区北三环中路25号英斯泰克大厦5层会议室
开标地点:北京市西城区北三环中路25号英斯泰克大厦5层会议室
6、投标人在投标前应在必联网（https://www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台（https://www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。
7、联系方式
招标人:安徽华鑫微纳集成电路有限公司
地址:安徽省蚌埠市东海大道888号
联系人:陈老师
联系方式:13906020315
招标代理机构:仪器进出口集团有限公司
地址:北京市丰台区西营街1号院1区1号楼15层、16层、17层
联系人:陶宇
联系方式:010-60961220/60961520
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):
招标代理机构开户银行(美元):
账号(人民币):
账号(美元):