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| 甬江实验室采购化学机械抛光机（金属）等设备项目国际招标公告(*) |
| 公告次数：* |
| 发布日期：****-**-** |
宁波中基国际招标有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于****年**月**日在国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
*. 招标条件
项目概况：甬江实验室因发展需要，需采购化学机械抛光机（金属）设备、等离子体增强化学气相沉积设备、高深宽比磁控溅射设备各*套。
资金到位或资金来源落实情况：项目所需资金已经落实。
项目已具备招标条件的说明：项目已具备招标条件。
*. 招标内容：
招标项目编号：****-****CBNB****
招标项目名称：甬江实验室采购化学机械抛光机（金属）等设备项目
项目实施地点：浙江
招标产品列表（主要设备）：
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序号 |
货物名称 |
数量 |
简要技术规格 |
备注 |
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* |
化学机械抛光机（金属）设备 |
*套 |
将待抛光晶圆在一定的分区下压力及抛光液(由超细磨料颗粒、化学氧化剂和表面活性剂等液体介质组成的混合液)的作用下相对于一个抛光垫作旋转运动，借助磨粒的机械磨削及液体介质的腐蚀作用来选择性完成对晶圆表面金属材料（Ti、TiN、Ta、TaN、W、TiW、Cu等）去除，并获得光洁表面。 |
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* |
等离子体增强化学气相沉积设备 |
*套 |
借助微波或射频使气体电离，局部形成等离子体，在较低的温度下沉积薄膜。用于沉积SiO * 、SiNx、SiON、P-doped SiO * 、Ge-doped SiO * 、BPSG、FSG等薄膜。 |
/ |
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* |
高深宽比磁控溅射设备 |
*套 |
使用磁控溅射方式用于深硅刻蚀后的硅通孔孔壁沉积阻挡层（Ti或Ta）及电镀种子层（Cu），防止金属与Si相互扩散的同时作为后续电镀孔内填充金属的导电层。 |
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*. 投标人资格要求
*.*特定资格条件：
*.*.*投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书；
*.*本项目不接受联合体投标。
*.*未领购招标文件不可以参加投标。
*. 招标文件的获取
招标文件领购开始时间：****年*月**日，上午：*:**-**:** ；下午：**:**-**:**。
招标文件领购结束时间：****年*月**日**:**（北京时间）
招标文件领购地点：宁波中基国际招标有限公司（宁波鄞州区天童南路***号中基大厦**楼前台，联系人：李小姐，联系电话：****-********,电子邮箱：*********@qq.com）；或在线购买，购买地址链接：https://dwz.cn/BzVsB**Q(此链接仅限于人民币支付）
招标文件售价：每标段售价***元人民币或**美元，售后不退(邮购须另加**元人民币[国内]或**美元[国外])。
特别提示：供应商付款后应及时将汇款底单直接传真或发邮件至我司前台标书发售人员，并在底单上注明需要购买标书的项目编号、联系人、手机号及邮箱，如未按此要求操作，供应商将有可能不能及时收到招标文件，请给予配合。
*. 投标文件的递交
*.*投标截止时间（开标时间）：****年*月*日*时**分（北京时间）
*.*投标文件送达地点：甬江实验室(宁波市镇海区慈海南路****号*号楼***会议室）。
*.*开标地点：甬江实验室(宁波市镇海区慈海南路****号*号楼***会议室）。
*. 投标人在投标前应在必联网（https://www.ebnew.com）或机电产品招标投标电子交易平台（https://www.chinabidding.com）完成注册及信息核验。评标结果将在必联网和国际招标网公示。
*. 联系方式
招标人：甬江实验室
地址：宁波市镇海区慈海南路****号
联系人：孙老师
联系方式：****-********
招标代理机构：宁波中基国际招标有限公司
地址：宁波市鄞州区天童南路***号中基大厦**楼
联系人：陈冲、方巧飞
联系方式：****-********、********、********（传真），chenchong******@***.com
异议（质疑）联系人：陈俊****-********
*. 汇款方式
招标代理机构开户银行（人民币）：工商银行宁波鼓楼支行
招标代理机构开户银行（美元）：工商银行宁波鼓楼支行
账号（人民币）：*******************
账号（美元）：*******************
账号（日元）：*******************
账号（欧元）：*******************
银行地址：浙江省宁波市中山西路***号
开户名称：宁波中基国际招标有限公司
swift代码：ICBKCNBJNBO
行号（人民币）：************
*.其他补充说明
*.*投标人递交投标文件方式：现场递交方式或邮寄递交方式。
（*）采用邮寄方式递交投标文件，需按以下要求递交： 投标人须在****年*月*日**：**前将投标文件邮寄至规定地点，由招标代理机构工作人员进行签收。各投标人自行考虑邮寄在途时间，邮寄过程中无论何种因素导致投标文件未按时递交的后果，均由投标人自行负责。投标文件递交时间以招标代理机构实际收到投标文件的时间为准。迟到的投标文件将被拒收。请各投标人确保密封包装在邮寄过程密封包装完好，因邮寄过程的密封破损造成不符合开标要求的，本招标代理机构概不负责。 投标文件邮寄地址为：宁波中基国际招标有限公司（宁波市鄞州区天童南路***号中基大厦**楼）。 收件人：陈冲 联系方式：***********