项目概况
上海交通大学感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统（ICPECVD) 招标项目的潜在投标人应在上海市四平路200号盛泰国际大厦606室获取招标文件，并于2023年12月15日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况
项目编号：0773-2341SHHW0110/校内编号：招设2023A00204
项目名称：上海交通大学感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统（ICPECVD)
预算金额：335.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：335.000000 万元（人民币）
采购需求：
项目概况：该设备通过感应耦合等离子体（ICP）方式产生高密度等离子体，在硅及化合物半导体等衬底上沉积高质量的介质薄膜（例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等）。
采购需求：设备名称：感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统（ICPECVD)数量：1套简要技术参数：2.1 反应腔室：2.1.1 由整块铝锭加工制成、无焊缝、低漏率。侧壁带加热功能。★2.1.2 样品尺寸：最大8英寸直径晶圆、向下兼容更小的晶圆片或不规则碎片；不同尺寸样片之间的切换、无需反应腔室的开腔破真空。其余详见“第八章 货物需求一览表及技术规格”设备用途：该设备通过感应耦合等离子体（ICP）方式产生高密度等离子体，在硅及化合物半导体等衬底上沉积高质量的介质薄膜（例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等）。交货期：签订合同后11个月内交付地点：上海交通大学用户指定地点
合同履行期限：签订合同后11个月内
本项目(不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
本项目为机电产品国际招标项目，相关法规与政策均按照《机电产品国际招标投标实施办法（试行）》执行。
3.本项目的特定资格要求：1）投标人为制造商时，须提供制造商资格声明函（见格式 IV-9-2）；投标人为代理商时，须提供资格声明函（见格式 IV-9-3）及制造商提供的针对本项目的授权书（见格式 IV-9-4）；2）投标人开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明原件或复印件；3）投标人须在投标截止期之前在商务部指定的机电产品招标投标电子交易平台（以下简称机电产品交易平台，网址为：http://www.chinabidding.com）上完成有效注册；4）不接受联合体投标。
三、获取招标文件
时间：2023年11月24日 至2023年12月01日，每天上午9:00至12:30，下午12:30至17:00。（北京时间，法定节假日除外）
地点：上海市四平路200号盛泰国际大厦606室
方式：（1）投标人报名时须先登录“上海交通大学数字化采购平台（https://pboffice.sjtu.edu.cn/）” 供应商注册进行网上注册并实名认证。（2）注册转账之后，请务必发邮件说明。邮件主题包含：投标人名称+项目编号+项目名称，邮件附件包含：网上转账凭证。发送至zjzb2022@126.com。
售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：2023年12月15日 09点30分（北京时间）
开标时间：2023年12月15日 09点30分（北京时间）
地点：上海市四平路200号盛泰国际大厦606室
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
1、人民币账户信息：标书费、投标保证金、中标服务费专用账户（人民币）：户名：中金招标有限责任公司上海分公司开户行：建设银行上海斜桥支行账号：31001514800050010790行号: 105290070055银行地址：上海制造局路468号2、外币账户信息：投标保证金专用账户：Special A/C for Bid Security:户名：中金招标有限责任公司上海分公司Name:China Capital Tendering Co.,Ltd Shanghai Branch开户行：建设银行上海黄浦支行Bank Name: China Construction Bank, Shanghai Branch Huangpu Sub-Branch账号： 31001514800050010790A/C No.: 31001514800050010790CNAPS code: 105290070055Swift Code: PCBCCNBJSHX银行地址：上海淮海东路85号Bank Add: No.85 HuaiHai Dong RdShanghai China3.本项目为国际招标，招标公告详见机电产品招标投标电子交易平台。
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：上海交通大学
地址：上海市闵行区东川路800号
联系方式：招采办经办人：章老师 86-21-54747224 技术联系人：张老师 86-21-34204341
2.采购代理机构信息
名 称：中金招标有限责任公司
地 址：上海市四平路200号盛泰国际大厦606室
联系方式：宋晓飞、张莹莹 86-21-66059798*108
3.项目联系方式
项目联系人：宋晓飞、张莹莹
电 话： 86-21-66059798*108
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