项目概况
华南理工大学微纳电子加工平台制备设备采购项目（四） 招标项目的潜在投标人应在广东元正招标采购有限公司发送电子邮件的方式免费获取获取招标文件，并于2022年12月19日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：0835-220Z11909631
项目名称：华南理工大学微纳电子加工平台制备设备采购项目（四）
预算金额：4750.0000000 万元（人民币）
采购需求：
| 包组号 | 标的名称 | 数量 （单位） | 简要技术需求或服务要求 （具体详见采购需求） | 最高限价 万元（人民币） |
| 1 | 无掩模激光直写光刻机 | 1（套） | 用于无需掩模版的微纳图形曝光定义以及制备普通光刻机所需的掩模版。具体参数详见需求书。 | 550 |
| 2 | 离子注入机 | 1（套） | 具体参数详见需求书。 | 1300 |
| 3 | 电子束光刻系统 | 1（套） | 适用于高分辨率电子束光刻工艺，并可对纳米结构进行精确的成像度量。具体参数详见需求书。 | 1300 |
| 4 | 步进式光刻机 | 1（套） | 用于将设计好的图案通过曝光的方法转移到基底上。具体参数详见需求书。 | 1000 |
| 5 | LPCVD 介质材料生长 | 1（套） | 四管卧式LPCVD系统具有四套工艺炉管。供生产线在6〞圆硅片淀积TEOS(SiO2)、Poly-Si， Si3N4薄膜，氧化工艺，并兼容4寸圆硅片。具体参数详见需求书。 | 300 |
| 6 | 半导体参数分析系统 | 1（套） | 用于功率半导体器件电学参数测试。具体参数详见需求书。 | 300 |
经政府采购管理部门同意，本项目包组1、包组2、包组3、包组4、包组6允许采购本国产品或不属于法律法规政策明确规定限制的进口产品。包组5只允许采购本国产品。具体详见采购需求。
本项目采购标的所属行业为：工业
合同履行期限：包组1：国内供货：在合同签订后（30）天内完成供货、安装和调试并交付用户单位使用；境外供货：收到信用证后（450）天内完成供货、安装和调试并交付用户单位使用。包组2：国内供货：在合同签订后（180）天内完成供货、安装和调试并交付用户单位使用；境外供货：收到信用证后（300）天内完成供货、安装和调试并交付用户单位使用。包组3：国内供货：在合同签订后（30）天内完成供货、安装和调试并交付用户单位使用；境外供货：收到信用证后（300）天内完成供货、安装和调试并交付用户单位使用。包组4：国内供货：在合同签订后（180）天内完成供货、安装和调试并交付用户单位使用；境外供货：收到信用证后（180）天内完成供货、安装和调试并交付用户单位使用。包组5：在合同签订后（180）天内完成供货、安装和调试并交付用户单位使用。包组6：国内供货：在合同签订后（30）天内完成供货、安装和调试并交付用户单位使用；境外供货：收到信用证后（300）天内完成供货、安装和调试并交付用户单位使用。
本项目(不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
包组1：无。本包组不属于专门面向中小企业采购的项目。
包组2：无。本包组不属于专门面向中小企业采购的项目。
包组3：无。本包组不属于专门面向中小企业采购的项目。
包组4：无。本包组不属于专门面向中小企业采购的项目。
包组5：无。本包组不属于专门面向中小企业采购的项目。
包组6：无。本包组不属于专门面向中小企业采购的项目。
3.本项目的特定资格要求：（1）应具备《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件，提供以下材料：①具有独立承担民事责任的能力：提供在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织的营业执照或事业单位法人证书或社会团体法人登记证书复印件，如投标人为自然人的提供自然人身份证明复印件；如另有规定的，则从其规定。（分公司投标，须取得具有法人资格的总公司（总所）出具给分公司的授权书，并提供总公司（总所）和分公司的营业执照（执业许可证）复印件。已由总公司（总所）授权的，总公司（总所）取得的相关资质证书对分公司有效，法律法规或者行业另有规定的除外）②具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度：提供按照招标文件的格式签署盖章的《资格声明函》。③有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录：提供按照招标文件的格式签署盖章的《资格声明函》。④具有履行合同所必须的设备和专业技术能力：提供按照招标文件的格式签署盖章的《资格声明函》。⑤参加采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录：提供按照招标文件的格式签署盖章的《资格声明函》。重大违法记录，是指投标人因违法经营受到刑事处罚或者责令停产停业、吊销许可证或者执照、较大数额罚款等行政处罚。（根据财库〔2022〕3号文，较大数额罚款认定为200万元以上的罚款，法律、行政法规以及国务院有关部门明确规定相关领域“较大数额罚款”标准高于200万元的，从其规定。）（2）信用记录：投标人未被列入“信用”网站(www.creditchina.gov.cn)“失信被执行人或重大税收违法失信主体或政府采购严重违法失信行为记录名单”；不处于“政府采购网”(www.ccgp.gov.cn)“政府采购严重违法失信行为信息记录”中的禁止参加政府采购活动期间，若投标人具有分公司的，其所属分公司有上述不良信用记录的，视同该投标人存在不良信用记录。若投标人为分公司的，其所属总公司（总所）存在上述不良信用记录的，视同该分公司存在不良信用记录。（以招标代理机构于评标当天在“信用”网站（www.creditchina.gov.cn）及“政府采购网”（http://www.ccgp.gov.cn/）查询结果为准，如相关失信记录已失效，投标人需提供相关证明资料）。（3）投标人必须符合法律、行政法规规定的其他条件：单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加本采购项目（或同一合同项下）投标。为本项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的投标人，不得再参与本项目投标。（提供按照招标文件的格式签署盖章的《资格声明函》）。（4）投标人已按招标公告及招标文件的规定获取了招标文件。（5）本项目不接受联合体投标。（6）本项目不接受中标备选方案。
三、获取招标文件
时间：2022年11月29日 至2022年12月05日，每天上午9:00至12:00，下午14:00至17:30。（北京时间，法定节假日除外）
地点：广东元正招标采购有限公司发送电子邮件的方式免费获取
方式：详见本招标公告“六、其他补充事宜”。
售价：￥0.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：2022年12月19日 09点30分（北京时间）
开标时间：2022年12月19日 09点30分（北京时间）
地点：广州市越秀区先烈中路102号华盛大厦北塔25楼广东元正招标采购有限公司开标室
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
(1) 获取招标文件的方式：
第一步：注册登记。
请符合条件的供应商在华南理工大学招标中心采购管理与电子招投标系统（新）（网址： http://zbzx.scut.edu.cn:8888/ECP/），注册账号并登陆，在“公告信息-招标公告”栏目中找到参与的项目公告，进入公告点击“我要报名”进行投标报名登记（如有问题可咨询QQ群：754198406），投标登记完成后在系统中的“立项项目管理-我参与的项目”找到参与的项目，进入项目并打印或截图显示报名通过的“投标报名”栏目的完整页面，否则，投标人将不能进入下一步，由此产生的后果由投标人负责。
第二步：代理机构处线上免费获取。
（已完成步骤一注册及报名登记的供应商）供应商须准备以下资料发送至广东元正招标采购有限公司邮箱（gdyzgys@163.com）后，通过广东元正招标采购有限公司发送电子邮件的方式免费获取pdf盖章版的招标文件。投标人通过其他渠道获取的招标文件与广东元正招标采购有限公司邮件发送获取的不一致，以广东元正招标采购有限公司邮件发送为准。本项目只接受通过以上方式正式获取招标文件的供应商参加投标。投标人应保证以上信息真实可靠，如因填写信息错误导致的任何损失由投标人负责。
①《获取招标文件登记表》（格式通过南方招标与采购交易平台：https://www.eebidding.com/f“下载中心-投标人报名登记表”下载，填写完整后加盖单位公章。如报名参与多个子包的，须分别对相应子包进行登记）。
②华南理工大学采购管理与电子招投标系统（新）参与本项目的网站打印或截图页面。
（2）落实的政府采购政策：《政府采购促进中小企业发展管理办法》（财库﹝2020﹞46 号）、《关于政府采购支持监狱企业发展有关问题的通知》（财库〔2014〕68号）、《关于促进残疾人就业政府采购政策的通知》（财库〔2017〕141号）、《财政部 发展改革委 生态环境部 市场监管总局关于调整优化节能产品、环境标志产品政府采购执行机制的通知》（财库〔2019〕9号）、《关于建立政府强制采购节能产品制度的通知》（国办发〔2007〕51号）、《关于印发节能产品政府采购品目清单的通知》（财库〔2019〕19号）、《关于印发环境标志产品政府采购品目清单的通知》（财库〔2019〕18号）、《关于运用政府采购政策支持乡村产业振兴的通知》（财库〔2021〕19号）等。
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：华南理工大学
地址：广州市天河区五山路381号
联系方式：文老师 020-22236003
2.采购代理机构信息
名 称：广东元正招标采购有限公司
地 址：广州市越秀区先烈中路102号华盛大厦北塔26楼2608室
联系方式：020-87258495-103
3.项目联系方式
项目联系人：何小姐、黄先生
电 话： 020-87258495-103
ccgp.g