宁夏理工学院智慧实验实训平台系统优化升级项目采购项目十六标段：材料成型与检测实验室（场发射扫描电子显微镜）设备采购(智能制造园)更正（一）

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项目预算金额2000000元；最高限价：2000000元。

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项目预算金额2500000元；最高限价：2500000元。

序号

设备名称

型号及描述

数量

单位

1

场发射扫描电子显微镜

一、运行环境

1.1 工作温度： 可以在25-25℃环境温度工作。

1.2 相对湿度：湿度小于60%RH时正常工作。

1.3 工作电压：在220V（±10%）、50Hz电压下。仪器可连续使用。

二、技术参数：

1.电子光学系统

1.1发射源：高稳定型肖特基热场发射电子枪，自动烘烤、自动启动、SmartAlign智能自动电子枪对中。

1.2分辨率：0.9 nm @15kV、1.0 nm@1kV 、1.2 nm @500V。

1.3 电压范围：20V – 30kV；最小可达每档1V连续可调。

1.4 探针电流范围：1pA – 50nA，连续可调。

1.5 物镜系统

1.5.1 几何结构：60°几何结构的窄锥角物镜设计，支持较大样品的倾转观察，具备自加热功能。

1.5.2 类型：电磁/静电复合式物镜系统，可有效提升低电压成像的分辨率。

1.5.3 特点：物镜系统无磁场外露，可对磁性材料进行高分辨率成像及分析。

1.6 光路系统：具有两级聚光镜，单级物镜，构成三级交叉式电子束光路。

1.7 自动调整功能：自动电子枪对中；FLASH自动聚焦、消像散；具有聚焦补偿、动态聚焦、旋转补偿、倾斜补偿功能；DFCI自动漂移补偿帧积分。

1.8 具有自加热、自清洁功能的15孔物镜光阑，大大提高光阑使用寿命，降低后期使用成本。

1.9 配有独有灯丝对中软件，保证灯丝永远处于最佳状态，保证灯丝使用寿命，降低设备后期使用成本。

2.样品室和样品台

2.1样品室内部空间：从左至右为340mm宽的大存储空间。

2.2样品室可拓展接口数量：12个，含能谱仪接口3个（其中2个处于180°对角位置）。

2.3EDS与EBSD具有几何共面结构。

2.4EDS分析工作距离：10mm（满足X-Ray出射角35°）。

2.5样品台

2.5.1类型：五轴马达驱动全自动优中心样品台。

2.5.2样品装配方式：抽屉式拉门。

2.5.3移动范围：X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm,T=-15º~90º,R=n×360º 连续旋转。

2.5.4样品台具有接触报警与自动停止功能。

2.5.5多功能样品台：

（1）多用途SEM样品安装载物台，可同时放置 18 个标准样品座（φ12mm）。

（2）具有剖面样品台和三个预倾斜样品台。

2.6最大样品尺寸：直径不低于200mm。

2.7样品台承重：5Kg。

3.探测器系统

3.1样品室二次电子探测器ETD。

3.2镜筒内正光轴背散射电子探测器T1。

3.3镜筒内正光轴二次电子探测器T2（高分辨成像探测器）。

3.4样品室内IR-CCD红外相机（观察样品台高度）。

3.5可用于图像导航的彩色光学相机NA/V-Cam+™。

4.真空系统

4.1真空泵组成：2个离子吸附泵。

1个250 l/s分子涡轮泵，1个机械泵。

4.2离子泵专用备用电源

4.4 样品室抽真空时间：≤3.5min。

5.图像处理

5.1光栅扫描：电子束驻留时间25ns至25ms/像素。

5.2智能扫描和漂移补偿：256 帧平均或积分、线积分和平均法、隔行扫描、漂移补偿帧积分。

5.3扫描方式：正常扫描、缩小光栅、定点、线扫描、扫描旋转、倾斜校正。

5.4拍摄一次获取单帧图像最大存储分辨率：最大65k × 65k像素。

5.5图像记录格式：TIFF、BMP或JPEG。

6.控制系统

6.1操作系统：Windows 10。

6.2图像显示：24寸LCD显示器，最高显示分辨率1920×1200。

6.3支持用户自定义的GUI，可同时实时显示4幅图像。

6.4软件支持Undo和Redo功能。

6.5User Guidance（用户操作工作流）提供设备成像分析的工作流，对操作者进行使用流程指导，降低设备应用门槛。

6.6蒙太奇图像导航

6.7Maps软件可自动智能成像，设置每个样品的分析条件（放大倍率、信号等），软件控制SEM进行图像采集，并可以将采集的图像进行拼接。

7、能谱仪：探测器有效面积不低于40mm²。

7.1能量探测器：电制冷硅漂移探测器（SDD）。

7.2探测器定位：探测器由马达控制精确定位，软件可控，能够实时监测和控制采集计数率，保证不同样品的数据重复性和测试条件重复性的目的。

7.3能量分辨率：Mn Kα优于127eV，C Ka优于50eV，F Ka优于60eV。

7.5元素分析范围：至少为Be4~U92。

7.6谱峰稳定性：分辨率变化在1eV以内，48小时内峰位漂移小于1.5eV。

7.7计数率：输出最大计数率大于800,000CPS，可处理最大计数率大于1,500,000CPS。

7.8具有轻元素定量分析和修正功能，可对Be、B、C、N等进行浓度定量检测以及修正。

7.9采集界面：采用32位和64位双系统，采集界面方便简单，智能化设定参数，兼容原有EBSD数据，能实现能谱的采集与定量分析、线扫描及全息面扫描，包含常规面分布、定量面分布和快速面分布、快速智能面分布等。

7.10定性分析：具备点、线、面扫描分析功能，可自动和手动进行全谱元素谱峰识别，并具有检验重叠峰剥离准确性以及合峰效应的有效方法，能够分析夹杂和偏析等微量元素和微量相。

7.11定量分析：采用最先进的修正技术和虚拟标样数据库，系统能够自动有效修正元素之间的相互吸收，可对抛光表面或粗糙表面进行点、线和面的分析，谱峰稳定，数据重现性好，不需要多元素校准峰位。具备方便的虚拟标样分析方法，且可以得到高级的非归一化定量结果，各元素定量误差没有相互干扰，数据格式可以和电子探针等高级分析方式的数据直接对应。

7.12智能软件系统：中英文任意切换的软件界面，能谱与电镜一体化，可实现自动读取和控制电镜参数，完整的离线能谱分析软件，具备实时跟踪能力和智能定性，定量分析能力，自动漂移校正。

7.13低电压分析：在电镜低电压条件下能正常分析，3KV下可获取轻元素的定性定量信息，5KV下具备虚拟标样数据库，可实现全谱定性定量分析。

7.14系统可靠性：采用独立的图像采集处理器和波形采集处理器，各自独立封装，防止集成式设计存在的故障可能点多、更换零部件成本高的问题。

7.15计算机：原装工作站，CPU四核，主频高于3 GHz，三级缓存不小于8M，内存32G，硬盘500G*2，可实时备份，24” LCD显示器，可刻录DVD光驱。

7.16配有彩色激光打印机

7.17与电镜操作台一体化风格的原装进口实验台。

8．配套设备

8.1数据处理计算机一台，要求 CPU主频高于8GHz，内存大于12G，硬盘容量大于500G，可刻录DVD光驱，24” LCD显示器，操作系统采用Microsoft Windows 10系统。

8.2离子溅射仪

8.2.1 Cressington 108Auto全自动离子溅射仪1套

8.2.2靶材为铂金

8.2.3可镀最大样品直径大于60mm

8.2.4镀金速率大于30nm/min

8.2.5镀金颗粒小，镀层均匀

8.3电解抛光仪

8.3.1进口品牌电解抛光仪1套

8.3.2输出电压：0~100V

8.3.3输出电流：0~20A

8.3.4温度范围：室温~400，可恒温控制

8.3.5可恒流和恒压操作，负载调解率0.01%

8.3.6稳定度：电压0.02%，电压偏移1mV，电流0.1%

8.4 UPS稳压保护电源1套，整机供电不低于2h，电子枪系统供电不低于200h。

8.5备用场发射灯丝系统1套（灯丝+光阑）

8.6空气压缩机1台

8.7冷却循环水机 1台

8.8带除湿功能的空调一部”

1

套

序号

设备名称

型号及描述

数量

单位

1

场发射扫描电子显微镜

一、运行环境

1.1 工作温度： 可以在25-25℃环境温度工作

1.2 相对湿度：湿度小于60%RH时正常工作

1.3 工作电压：在220V（±10%）、50Hz电压下。仪器可连续使用

二、技术参数：

1.电子光学系统

1.1发射源：高稳定型肖特基热场发射电子枪，自动烘烤、自动启动、SmartAlign智能自动电子枪对中

*1.2分辨率：0.9 nm @15kV、1.0 nm@1kV 、1.2 nm @500V

1.3 电压范围：20V – 30kV；最小可达每档1V连续可调

*1.4 探针电流范围：1pA – 50nA，连续可调

1.5 物镜系统

1.5.1 几何结构：60°几何结构的窄锥角物镜设计，支持较大样品的倾转观察，具备自加热功能

1.5.2 类型：电磁/静电复合式物镜系统，可有效提升低电压成像的分辨率

1.5.3 特点：物镜系统无磁场外露，可对磁性材料进行高分辨率成像及分析

1.6 光路系统：具有两级聚光镜，单级物镜，构成三级交叉式电子束光路

1.7 自动调整功能：自动电子枪对中；FLASH自动聚焦、消像散；具有聚焦补偿、动态聚焦、旋转补偿、倾斜补偿功能；DFCI自动漂移补偿帧积分

1.8 具有自加热、自清洁功能的15孔物镜光阑，大大提高光阑使用寿命，降低后期使用成本

1.9 配有独有灯丝对中软件，保证灯丝永远处于最佳状态，保证灯丝使用寿命，降低设备后期使用成本

2.样品室和样品台

2.1样品室内部空间：从左至右为340mm宽的大存储空间

2.2样品室可拓展接口数量：12个，含能谱仪接口3个（其中2个处于180°对角位置）

2.3EDS与EBSD具有几何共面结构

2.4EDS分析工作距离：10mm（满足X-Ray出射角35°）

2.5样品台

2.5.1类型：五轴马达驱动全自动优中心样品台

2.5.2样品装配方式：抽屉式拉门

*2.5.3移动范围：X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm,T=-15º~90º,R=n×360º 连续旋转

2.5.4样品台具有接触报警与自动停止功能

2.5.5多功能样品台：

① 多用途SEM样品安装载物台，可同时放置 18 个标准样品座（φ12mm）

② 具有剖面样品台和三个预倾斜样品台

2.6最大样品尺寸：直径不低于200mm

2.7样品台承重：5Kg

3.探测器系统

3.1样品室二次电子探测器ETD

3.2镜筒内正光轴背散射电子探测器T1

3.3镜筒内正光轴二次电子探测器T2（高分辨成像探测器）

3.4样品室内IR-CCD红外相机（观察样品台高度）

*3.5可用于图像导航的彩色光学相机NA/V-Cam+™

4.真空系统

4.1真空泵组成：2个离子吸附泵

1个250 l/s分子涡轮泵

1个机械泵

4.2离子泵专用备用电源

4.4 样品室抽真空时间：≤3.5min

5.图像处理

5.1光栅扫描：电子束驻留时间25ns至25ms/像素

5.2智能扫描和漂移补偿：256 帧平均或积分、线积分和平均法、隔行扫描、漂移补偿帧积分

5.3扫描方式：正常扫描、缩小光栅、定点、线扫描、扫描旋转、倾斜校正

*5.4拍摄一次获取单帧图像最大存储分辨率：最大65k × 65k像素

5.5图像记录格式：TIFF、BMP或JPEG

6.控制系统

6.1操作系统：Windows 10

6.2图像显示：24寸LCD显示器，最高显示分辨率1920×1200

6.3支持用户自定义的GUI，可同时实时显示4幅图像

6.4软件支持Undo和Redo功能

6.5User Guidance（用户操作工作流）提供设备成像分析的工作流，对操作者进行使用流程指导，降低设备应用门槛

6.6蒙太奇图像导航

6.7Maps软件可自动智能成像，设置每个样品的分析条件（放大倍率、信号等），软件控制SEM进行图像采集，并可以将采集的图像进行拼接

7、能谱仪：

7.1 探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积不小于40mm²，高分子超薄窗设计。

7.2 封闭式真空系统，无需借助SEM抽放真空。

7.3 能量分辨率：Mn Ka保证优于127eV（@计数率130,000cps）；

F Ka 保证优于64eV（@计数率130,000cps）；

C Ka 保证优于56eV（@计数率130,000cps）；

保证符合ISO 15632:2012标准。

7.4 元素分析范围：Be4～Cf98。

7.5 探测器可软件控制，自动伸缩。

7.6 具备元素spectrum Live实时刷新显示功能：可实时观测样品区域变化或者形态转变时，谱图spectrum的动态变化过程。

7.7 具备元素面分布Live实时刷新显示功能，可实时观测样品区域变化或者形态转变时，Mapping的动态变化过程。无需在电镜和能谱软件间切换。样品一旦停止移动，自动开启面分布图静态采集模式，得到更高清晰度的面分布图。

7.8 具备零峰修正功能，开机后无需重新修正峰位。

7.9 具有实时谱图比对功能。

7.10 线扫描分析每条线可包含高达8192点，可从线扫描结果重建单点谱图。可在水平或垂直方向进行多线依次采集。

7.11 电子图像最高分辨率达8192*8192像素；元素面分布图分辨率最高达4096*4096像素；可在电子图像上叠加元素分布图；可从面分布图上进行点、线谱图重建。

7.12 定性分析：AutoID可自动标识谱峰，可进行谱重构。

7.13 定量分析：采用XPP定量修正技术。除完备的KLMN全谱线系外，还有20kV及5kV高低电压定量数据库。

8附件及耗材

8.1 UPS稳压保护电源1套，整机供电不低于2h

8.2 随机场发射灯丝系统1套

8.3 带有除湿功能的空调1台

8.4 离子溅射仪1台

三、技术及售后服务

安装验收：卖方负责派技术员在买方确定的时间内到设备现场进行免费的安装、调试，按验收指标逐项测试至达到验收要求，出具验收报告，由用户确认签字，完成仪器验收工作。

人员培训：电镜厂家需提供初级培训、中级培训和高级培训三级培训模式：

初级培训：安装调试完毕后，马上对用户人员进行初级培训。培训时间不少于7天，培训内容包括电镜及附件的操作、电镜及附件的日常维护、样品观测、分析、获取图象。

中级培训：仪器运行一段时间后，针对用户使用过程中遇到的问题，由卖方专家到现场进行为期7天以上的免费培训指导。

高级培训：如买方有操作人员变更或其他操作电镜的问题，可去卖方专门的应用培训中心，聘请国内知名材料应用分析专家亲自授课，理论结合实际。

保修期：设备自验收之日起整机保修期一年。保修期过后，免费提供应用技术支持，并提供五年内免费维护保养。在不更换硬件的条件下，软件免费升级至最新版本。

维修响应：厂家需在西安有售后服务点，在提出维修要求后，能在24小时内做出维修响应，2-5个工作日内达到用户现场。

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