| 公告信息： | |||
| 采购项目名称 | 清华大学涂胶显影机 | ||
| 品目 | 货物/专用设备/电工、电子专用生产设备/电子工业专用生产设备 | ||
| 采购单位 | 清华大学 | ||
| 行政区域 | 北京市 | 公告时间 | 2022年08月16日 14:19 |
| 获取招标文件时间 | 2022年08月16日至2022年08月23日 每日上午:8:00 至 14:00下午:12:00 至 16:30（北京时间，法定节假日除外） | ||
| 招标文件售价 | ￥0 | ||
| 获取招标文件的地点 | 登记报名网址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn | ||
| 开标时间 | 2022年09月07日 10:30 | ||
| 开标地点 | 北京市海淀区清华大学华业大厦实验室处1区5层第一评标室（清华大学东南门东侧，无须办理入校手续）。 | ||
| 预算金额 | ￥1400.000000万元（人民币） | ||
| 联系人及联系方式： | |||
| 项目联系人 | 李美珍 | ||
| 项目联系电话 | 62785713 | ||
| 采购单位 | 清华大学 | ||
| 采购单位地址 | 清华大学华业大厦1区5层实验室管理处 | ||
| 采购单位联系方式 | 李美珍，62785713；肖天鹏，62780052（技术咨询） | ||
| 代理机构名称 | 详见公告正文 | ||
| 代理机构地址 | 详见公告正文 | ||
| 代理机构联系方式 | 详见公告正文 | ||
项目概况
清华大学涂胶显影机 招标项目的潜在投标人应在登记报名网址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn获取招标文件，并于2022年09月07日 10点30分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：清设招第2022193号
项目名称：清华大学涂胶显影机
预算金额：1400.0000000 万元（人民币）
采购需求：
| 包号 | 名称 | 数量 | 是否允许进口产品投标 |
| 01 | 涂胶显影机 | 1套 | 否 |
涂胶显影机包含：涂胶显影机（MEMS用）、涂胶显影机（先进集成用），以及晶圆键合模块的涂胶机（临时键合用）3台设备。涂胶显影机（MEMS用、先进集成用）主要用于光刻胶的涂敷与曝光后显影工艺，是配合光刻机完成图形化的必需设备；涂胶机（临时键合用）主要用于临时键合工艺的键合胶涂敷，是临时键合的必需设备。
简要技术指标：
涂胶显影机（MEMS用）
1）晶圆尺寸：8英寸兼容6英寸；
2）涂胶及显影单元晶圆旋转速度：100 rpm~5000 rpm，连续可调；
3）滴胶精度：滴胶量误差范围不大于-0.1 ml~0.1 ml（在1 ml~8 ml的滴胶量范围内），针筒式供胶除外；
4）涂胶厚度：100 nm~20 μm；
5）涂胶均匀性（片内/片间）：≤ 1.5%（100 nm~1 μm的涂胶膜厚范围内）；≤ 3%（1 μm~10 μm的涂胶膜厚范围内）；≤ 5%（10 μm~20 μm的涂胶膜厚范围内）；
6）显影均匀性：片内≤ 6%，片间≤ 6%（光刻机光强均匀度在-2.5%~2.5%的范围内，@1 μm L/S）；
涂胶显影机（先进集成用）
1）晶圆尺寸：8英寸兼容6英寸；
2）涂胶及显影单元晶圆旋转速度：100 rpm~5000 rpm，连续可调；
3）涂胶厚度：5 μm~30 μm；
4）涂胶均匀性（片内/片间）：≤ 5%（5 μm~30 μm的涂胶膜厚范围内）；
5）显影均匀性：片内≤ 6%，片间≤ 6%（光刻机光强均匀度在-2.5%~2.5%的范围内，@10 μm L/S）；
涂胶机（临时键合用）
1）晶圆尺寸：8英寸兼容6英寸；
2）晶圆旋转速度：100 rpm~5000 rpm，连续可调；
3）涂胶厚度：100 nm~30 μm；
4）涂胶均匀性（片内）：≤ 1.5%（100 nm~1 μm的涂胶膜厚范围内）；≤ 3%（1 μm~10 μm的涂胶膜厚范围内）；≤ 5%（10 μm~30 μm的涂胶膜厚范围内）。
合同履行期限：交货时间：合同签订后270日内
本项目(不接受 )联合体投标。
二、申请人的资格要求：
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
无
3.本项目的特定资格要求： 1）在中华人民共和国境内注册； 2）符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的条件； 3）通过“信用”网站（www.creditchina.gov.cn）和政府采购网（www.ccgp.gov.cn）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动； 4）不接受联合体投标； 5）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包号的政府采购活动； 6）为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该包的其他采购活动； 7）必须在线登记获取招标文件，否则没有资格投标。
三、获取招标文件
时间：2022年08月16日 至2022年08月23日，每天上午8:00至14:00，下午12:00至16:30。（北京时间，法定节假日除外）
地点：登记报名网址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn
方式：登记报名网址：http://sbcgczxxfb.sysc.tsinghua.edu.cn
售价：￥0.0 元，本公告包含的招标文件售价总和
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
提交投标文件截止时间：2022年09月07日 10点30分（北京时间）
开标时间：2022年09月07日 10点30分（北京时间）
地点：北京市海淀区清华大学华业大厦实验室处1区5层第一评标室（清华大学东南门东侧，无须办理入校手续）。
五、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
六、其他补充事宜
无
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：清华大学
地址：清华大学华业大厦1区5层实验室管理处
联系方式：李美珍，62785713；肖天鹏，62780052（技术咨询）
2.项目联系方式
项目联系人：李美珍
电 话： 62785713
ccgp