序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 300千伏冷场发射双球差校正透射电子显微镜 | 1台 | TEM信息分辨率:≤100 pm @ 60 kV;≤80 pm @ 200 kV; ≤70 pm @ 300 kV;STEM分辨率:≤111 pm @ 60 kV; ≤70 pm @ 200 kV; ≤60 pm @ 300 kV;最优能量分辨率: ≤0.30 eV @ 300 kV;电子枪类型:冷场发射电子枪。 | |
2 | 聚焦离子束双束电子显微镜 | 1台 | 电子束重合点下分辨率≤0.6 nm @ 15kV, ≤1.2 nm @ 1kV;Ga离子束分辨率(双束交叉点):≤2.5 nm @ 30kV, ≤35 nm @ 2kV,≤80 nm @ 1kV;入射电子能量波动≤0.2 eV | |
3 | 多源聚焦等离子束双束扫描电子显微镜 | 1台 | 电子束重合点下分辨率:≤0.6 nm @ 15 kV,≤1.2 nm @ 1 kV;入射电子能量波动≤0.2eV;等离子源类型:具备Xe、Ar、O、N四种等离子源类型;等离子束分辨率:≤10 nm @ 30kV |
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