序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 300千伏电子单色双球差校正透射电子显微镜 | 1台 | TEM信息分辨率:≤110 pm @ 30 kV;≤100 pm @ 60 kV; ≤80 pm @ 200 kV;≤65 pm @ 300 kV;STEM分辨率:≤125 pm @ 30 kV; ≤96 pm @ 60 kV; ≤60 pm @ 200 kV; ≤55pm @ 300 kV;能量分辨率: 50 meV @ 300 kV,25 meV @ 60 kV | |
2 | 200千伏高分辨场发射透射电镜 | 1台 | 电子枪类型:亮度高稳定度的冷场场发射电子枪;TEM信息分辨率:≤ 0.11 nm,STEM分辨率:≤0.14 nm;能谱探测器总立体角:≥ 0.9 srd ;能谱能量分辨率:≤136 eV (Mn-Ka) | |
3 | 聚焦离子束扫描电子显微镜(Xe) | 1台 | 电子束重合点下分辨率:0.6 nm @ 15 kV,1.2 nm @ 1 kV;最佳工作距离下,低电压分辨率:0.7nm @ 1kV(二次电子);最佳工作距离下,超低电压分辨率:1.0 nm @ 500 V(二次电子);离子束分辨率:≤10 nm @ 30 kV | |
4 | 多功能高分辨率场发射扫描电镜 | 3台 | 高电压分辨率:≤0.7 nm @ 15 kV(非减速模式); ≤0.5 nm @ 15kV(减速模式);电压分辨率:≤0.9 nm @ 1 k V;≤0.8 nm @ 0.5-1 kV (减速模式);电子着陆能量:20 eV 至 30 keV; | |
5 | 多功能环境真空场发射扫描电子显微镜 | 1台 | 高真空分辨率:≤1.0 nm @ 30 kV(SE模式);≤2.5 nm @ 30 kV (BSE模式);≤3.0 nm @ 1 kV (SE模式);低真空分辨率:≤1.3 nm @ 30 kV;≤3.0nm @ 3 kV;环境真空分辨率:≤1.3nm @ 30kV; | |
6 | 超高分辨场发射扫描电子显微镜 | 1台 | 高电压分辨率≤0.6nm @ 2-15kV(二次电子);低电压分辨率≤0.7nm @ 1kV(二次电子)(非减速模式);超低电压分辨率≤1.0nm @ 500V(二次电子)(非减速模式);电子能量波动≤0.2eV;电子枪类型:高分辨肖特基场发射电子枪,配备单色器组件,或冷场FEG |
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