序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 恒温恒湿微污处理系统 | 5台(Array 4台、TPOT 1台) | (1)主要在曝光机进风口前及lamp house外围,增加一套过滤系统,能够有效去除PGMEA及酸碱气体,保证进入曝光机内部气体的洁净度,避免镜组受雾化; (2)操作模式:具备自动模式和手动模式; (3)具备互锁功能。 | 0730-254010020003-29 |
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