序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 温调机 | 5台(Array 4台、TPOT 1台) | (1)设备主要利用恒温、洁净的空气流对玻璃基板进行处理,使其温度及均匀性快速调整到一定的范围,满足后续曝光机台对玻璃基板的温度需求。 (2)基板尺寸:1张1850mm×1500mm Glass或2张1500mm×924.8mm Half Glass。 (3)基板厚度:0.3mm~0.8mm±10% | 0730-244010020048-03 |
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