序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | AMHS三阶段设备(OHT) | 1套 | 该自动化系统在包含如下几个部分: 天车搬运区域:增加部分天车轨道(含CPS供电系统)和OHB储位以及OHT小车,新增部分小车,轨道,OHB需接入已有的供电系统,控制系统。 SMIF:SMIF 作为标准机械接口,在芯片制造生产过程中,用于晶圆盒在高洁净环境中读取晶圆盒信息、晶圆数量信息以及在制程设备中完成传进、传出等操作。可以保证晶圆与洁净室大环境隔离,避免环境颗粒造成的沾污和人为接触造成的划伤。其他详见技术规格书。 | ★以上设备不分包。包中设备不得拆分投标。 |
未曾在电力招标采购网(www.dlztb.com)上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相说明下载投标文件!
项目 联系人:李杨
咨询电话:010-51957458
传真:010-51957412
手机:13683233285
QQ:1211306049
微信:Li13683233285 邮箱:1211306049@qq.com
备注:欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后,查看项目业主,招标公告,中标公示等,并下载资格预审范围,资质要求,招标清单,报名申请表等。为保证您能够顺利投标,具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准,以招标业主的解答为准本。
编辑:chinabidding.co