序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 掩膜版存储盒&掩膜版存储柜 | 掩膜版存储盒140个,掩膜版存储柜5台 | (1)此次采购设备主要用于CF投影式曝光机掩膜版存储系统,主要用途为通过掩膜版存储柜保管和存放掩膜版,掩膜版存储盒负责承载掩膜版实现掩膜版安全转移和存放完整,完整的意义为大小与位置皆符合设计规格; (2)每台stocker储位数≥28个; (3)最低层高度≥570mm。 | 0730-244010020006-15 |
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