序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 扫描电子显微镜 | 1套 | 一、扫描电子显微镜主机: ★1、电子枪设计: 1.1场发射电子枪:如是冷场,需提供≥10年灯丝质保承诺;如是热场,需额外配置至少8根备用灯丝(提供承诺函并加盖公章,否则视为无效投标); 1.2分辨率:≤0.6nm@15kV(WD≥4mm),≤0.7nm@1kV(WD≥1.5mm); 1.3灯丝:具备开关功能,且不能损坏灯丝; ★2、配备背散射电子探测器或者二次电子/背散射信号选择系统:2kV及以下条件下,成背散射电子像; ★3、样品台:配置5轴中心马达驱动: 行程X:范围至少包含0mm-110mm 行程Y:范围至少包含0mm-110mm 行程Z:范围至少包含1.5mm-40mm R(旋转):360° T(倾斜):范围至少包含-5°~70° ★4、样品交换仓:尺寸≥150mm,样品更换抽真空时间:≤1分钟 二、能谱仪: ★1、探测器:有效面积≥65mm2 三、离子研磨仪: ★1、至少同时具备截面研磨和平面研磨两种加工功能: 1.1 加工速度:截面研磨≥500μm/h(6kV的条件下,Si片,100μm突出量);平面研磨≥2μm/h(照射角度0°,偏心量4mm,平面),20μm/h(照射角度60°,偏心量0mm,点) 1.2 最大样品尺寸:截面研磨≥20mm(宽度)×10mm(厚度)×5mm (高度),平面研磨≥50mm(直径) ×25mm(高度) | 预算金额:人民币600.00万元 最高限价:人民币594.00万元 合同履行期限:2025年7月31日前完成交付 |
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