序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 阵列自动光学检查机 | 1台 | (1)本设备主要通过光学的办法,用于从TFT阵列工艺过程中检测像素缺陷、异物、Mask缺陷、异型屏、周边走线、非对称区域等。检测结果会通过网络上传服务器,并且生成文件供其它设备使用以及用于生产监控; (2)系统性能:整个系统由自动光学检查机构构成,实现阵列过程的检测监控,配合上下游设备通讯的正常交握; (3)设备尺寸:≤长(3700mm)*宽(1900mm)*高(3100mm) (不含电脑机柜与维保区)。 | 0730-244010020012-03 |
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