序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 全自动椭圆偏振光谱仪 | 1台 | (1)本装置用于生产制程后玻璃基板上所沉积薄膜的厚度和光学常数(如折射率, 消光系数),以及其他性能的测试,以确认或改进沉积薄膜的质量; (2)基板尺寸:SE设备满足G6:1500mm*1850mm; (3)设备配置SE功能。 | 0730-244010020007-21 |
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