华采招标集团 对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024-03-21在公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:燕东科技12吋扩散与刻蚀设备采购资金到位或资金来源落实情况:已落实项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:1289-244024ZB0258招标项目名称:燕东科技12吋扩散与刻蚀设备采购项目实施地点:
产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 | | 1 | 氮化硅扩散设备 | 1台 | 用于实现12吋半导体集成电路硅片制造流程中“NITRIDE”的工艺。 | |
| 2 | 金属刻蚀设备 | 1台 | 用于实现12 吋半导体集成电路硅片制造流程中“金属Al line或Al Pad刻蚀”的工艺。 | |
| 3 | 离子反应刻蚀设备 | 1台 | 用于实现12吋半导体制造工艺中刻蚀硅，刻蚀材料包括硅基材料（如：Si、SiNx、SiO2、石英、Ge、GeSi和SiC等）、有机物检测等。 | |
3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:1. 投标人必须具备生产本次招标设备的能力，投标人能够为本次招标的设备提供有效的售后服务（提供服务过的单位及
未曾在电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相说明
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项目 联系人：李杨
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