序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 巨量转移载板曝光机 | 1台 | (1)本次采购曝光机设备分辨率≤3um,用于Micro LED光刻工艺制程。 (2)基板尺寸:需可对应200mm*200mm±1mm的基板。 (3)接近式曝光机。 | 0730-234011020181/20 |
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