| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 电子束光刻系统 | 1套 | *2.1.6 配备激光干涉工作台，XY方向运动行程不小于150 mm×150 mm。激光干涉仪测量分辨率不大于1nm。*2.1.6 LIS is included in the system. XY: no less than 150 mm×150 mm. Laser interferometer measurement resolution: no larger than 1nm.其余详见招标文件。 | 预算金额：人民币1000.00万元。 最高限价：人民币1000.00万元。 交货期：签订合同后12个月内 交付 邮件主题包含：投标人名称+项目编号+项目名称，邮件附件包含：网上转账凭证。发 5、投标文件的递交投标截止时间（开标时间）:2023-12-26 10:30投标文件 评标结果将在必联网和 公示。7、联系方式招标人:上海交通大学地址:上海市闵行区东川路800号 |
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