序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 巨量转移关键尺寸测量仪 | 1台 | (1)设备由腔体、测量平台、高分辨率CMOS显微镜、图像处理器、干涉仪和线性马达等构成,,用于测量PR线宽、曝光套刻精度和长寸(长寸测量需要长宽线宽测量仪),并能够自动把曝光套刻精度和长寸的测量数据反馈给曝光机。 (2)基板尺寸:(650±0.5)mm×(750±0.5)mm。 (3)在设备运行全过程中,玻璃基板上静电电压都需≤±100V | 0730-234011020181/13 |
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